波長可変型大面積SR露光システム

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05039

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): Large Area X-ray Lithography System for LIGA Process using Energy Variable Synchrotron Radiation

著者名: 内海 裕一(兵庫県立大学),岸本 武文(兵庫県立大学),服部 正(兵庫県立大学),原 玲丞(トヤマ)

著者名(英語): Yuichi Utsumi(University of Hyogo),Takefumi Kishimoto(University of Hyogo),Tadashi Hattori(University of Hyogo),Hirotsugu Hara(TOYAMA Co.,LTD.)

キーワード: LIGAプロセス|ディープX線リソグラフィー|放射光|MEMS

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 987 Kバイト