スピンコートシーディング法を用いたPドープダイヤモンドフィールドエミッション源

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05040

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): P doped Diamond Field Emission Source by Spin Coat Seeding

著者名: 手塚祐朗 (埼玉大学),松葉陽平 (埼玉大学),高橋幸郎 (埼玉大学)

著者名(英語): S.Tezuka (Saitama Univ),Y.Matsuda (Saitama Univ),K.Takahashi (Saitama Univ)

キーワード: FED|ダイヤモンド薄膜|スピンコートシーディング|MPCVD

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,170 Kバイト