SU-8 トーションビームによる大口径シリコンMEMSミラー

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05042

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): A Si MEMS Mirror using SU-8 Torsion Beam with Large Reflection Area

著者名: 吉田 憲弘(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)

著者名(英語): Norihiro Yoshida(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Yoichiro Takayama(University of Hyogo)

キーワード: MEMSミラー|大口径|SU-8|上下対称構造

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,019 Kバイト