光通信可変利得等化器応用を目指した静電吸着制御型圧電駆動リニアアクチュエータの集積化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05043

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): High Dense Electrostatic Controlled Linear Inchworm Actuator Toward Optical Dynamic Gain Equalizer

著者名: 木下 暢人(立命館大学),大島 章義(立命館大学),熊ヶ谷育生(立命館大学),小西聡(立命館大学),島津貴之(住友電気工業株式会社),片山誠(住友電気工業株式会社)

著者名(英語): Nobuhito Kinoshita|Akiyoshi Oshima|Ikuo Kumagaya|Takayuki Shimazu|Makoto Katayama

キーワード: ECLIA|可変利得等化器|スライダアレイ|一括製作|並列動作

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,365 Kバイト