Ti-Ni薄膜の形状回復力を用いた高接触力MEMSプローブカードの試作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05044

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): Ti-Ni SMA film actuated Si cantilever beam as a MEMS probe card

著者名: 岡村 雄太(兵庫県立大学),田代 洋一(兵庫県立大学),生津資大 (兵庫県立大学),井上 尚三(兵庫県立大学),中松 健一郎(兵庫県立大学),松井 真二(兵庫県立大学)

著者名(英語): Yuta Okamura(University of Hyogo),Youichi Tashiro(University of Hyogo),Takahiro Namazu(University of Hyogo),Shozo Inoue(University of Hyogo),Ken-ichiro Nakamatsu(University of Hyogo),Shinji Matsui(University of Hyogo)

キーワード: Ti-Ni薄膜|形状記憶合金|Siカンチレバー|接触力|接触抵抗|MEMSプローブカード

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,155 Kバイト