ガラス製マイクロチップの光スキャニング接合法の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS06007

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2006/05/15

タイトル(英語): The Development of Free Bonding Method of the Glass Microchip.

著者名: 長縄 竜一(産業技術総合研究所),内田 勝秀(エスティー･ラボ(有)),鳥村 政基(産業技術総合研究所),田尾 博明(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Ryuichi Naganawa(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)),Katsuhide Uchida(STLab),Masaki Torimura(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)),Hiroaki Tao(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST))

キーワード: ガラス製マイクロチップ|貼り合わせ|赤外線加熱炉|スキャニング

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 999 Kバイト