圧電PZT薄膜を用いたRF-MEMSスイッチの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS06009

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2006/05/15

タイトル(英語): RF-MEMS switches using PZT thin film

著者名: 田澤 慶朗(京都大学),鈴木 孝明(京都大学),神野伊策 (京都大学),小寺 秀俊(京都大学)

著者名(英語): Yoshiro Tazawa(Kyoto University),Takaaki Suzuki(Kyoto University),Isaku Kanno(Kyoto University),Hidetoshi Kotera(Kyoto University)

キーワード: MEMS|RFスイッチ|PZT薄膜|X形状コネクタ|低電圧駆動

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,002 Kバイト