有接点SPDT RF-MEMSスイッチ用低電圧駆動静電アクチュエータの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS06010

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2006/05/15

タイトル(英語): Development of Electrostatic Actuator for Ohmic-Contact SPDT RF-MEMS Switch Driven at Low Voltage

著者名: 増田 貴弘(オムロン),積 知範(オムロン),宮地 孝明(オムロン),佐藤 文彦(オムロン)

著者名(英語): Takahiro Masuda(OMRON Corporation),Tomonori Seki(OMRON Corporation),Takaaki Miyaji(OMRON Corporation),Fumihiko Sato(OMRON Corporation)

キーワード: マイクロマシニング|RF MEMS|スイッチ|静電駆動型アクチュエータ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,170 Kバイト