低電圧･可変ストローク電磁駆動方式アクチュエータの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS06012

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2006/05/15

タイトル(英語): Development of Wide Lateral Stroke Electro-magnetic Actuator Driven by Low Voltage

著者名: 長谷部健彦 山中聖子(日立製作所),原田武 (日立製作所),後藤康 (日立製作所)

著者名(英語): Takehiko Hasebe(Hitachi,Ltd.),Kiyoko Yamanaka(Hitachi,Ltd.),Takeshi Harada(Hitachi,Ltd.),Yasushi Goto(Hitachi,Ltd.)

キーワード: 電磁駆動アクチュエータ|ローレンツ力|MEMS

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,239 Kバイト