薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS06018

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2006/05/15

タイトル(英語): Fundamental Study of Thin Film Tensile Test at High Temperature

著者名: 池田 哲郎(京都大学),菅野 公二(京都大学),土屋 智由(京都大学),田畑 修(京都大学)

著者名(英語): Tetsuro Ikeda(Kyoto University),Koji Sugano(Kyoto University),Toshiyuki Tsuchiya(Kyoto University),Osamu Tabata(Kyoto University)

キーワード: 薄膜材料|機械物性|引張試験|高温

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,301 Kバイト