圧電PZT薄膜を用いた波面補償用形状可変MEMSミラーの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS06023

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2006/05/15

タイトル(英語): Deformable MEMS Mirror using a Piezoelectric Thin Film for Adaptive Optics

著者名: 國澤孝瑛 (京都大学),鈴木 孝明(京都大学),神野伊策 (京都大学),小寺 秀俊(京都大学)

著者名(英語): Takaaki Kunisawa(Kyoto University),Takaaki Suzuki(Kyoto University),Isaku Kanno(Kyoto University),Hidetoshi Kotera(Kyoto University)

キーワード: 波面補償|収差補正|形状可変ミラー|PZT|圧電薄膜|眼底検査|ゼルニケ多項式

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,315 Kバイト