シリコン細線導波路とMEMSを融合した光変調素子の作製方法

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS06024

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2006/05/15

タイトル(英語): Fabrication Methods of Optical MEMS Modulators Integrated with Silicon Wire-waveguide.

著者名: 肥後 昭男(東京大学,神奈川科学技術アカデミー),年吉 洋(東京大学,神奈川科学技術アカデミー),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Akio Higo(The University of Tokyo,KAST),Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo,KAST),Hiroyuki Fujita(The University of Tokyo)

キーワード: 光メムス|静電アクチュエータ|光変調|シリコン細線導波路

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,457 Kバイト