ナノピペットプローブ顕微鏡微細加工システムの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS06028

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2006/07/27

タイトル(英語): Development of nanometer-scale fabrication using a nanopipette probe microscope

著者名: 岩田 太(静岡大学)

著者名(英語): Futoshi Iwata(Shizuoka University)

キーワード: ナノ加工|走査型プローブ顕微鏡|ナノ計測|ナノピペット|シェアフォース

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 928 Kバイト