顕微スペックル干渉法によるMEMSの動的変形計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS06030

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2006/07/27

タイトル(英語): Dynamic deformetion of MEMS microscopic Speckle Pattern Interferometry

著者名: 門野 博史(埼玉大学),本橋 研(埼玉大学),豊岡 了(埼玉大学)

著者名(英語): Hirofumi Kadono(Saitama Univ.),Ken Motohashi(Saitama Univ.),Satoru Toyooka(Saitama Univ.)

キーワード: 動的電子スペックル干渉法|ESPL|MEMS|変形計測|熱変形|位相解析|時間領域|ヒルベルト変換法

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,124 Kバイト