エンコーダ校正でのナノ計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS06031

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2006/07/27

タイトル(英語): Nano Level Calibration System of Linear Encoder

著者名: 越智 玉樹(サムタク株式会社)

著者名(英語): Tamami Ochi(SUMTAK K.K.)

キーワード: 校正装置|トレーサビリティ|参照標準器|仲介器|不確かさ|ロングレンジ･エラー

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,078 Kバイト