位相クロス法を利用した白色干渉計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS06032

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2006/07/27

タイトル(英語): Non-contact 3D surfaced profiler based on white-light interferometry

著者名: 田沼 敦朗(アンリツ株式会社),松岡 利幸(アンリツ株式会社),菅井 雅也(アンリツ株式会社),パヴロフスキー ミハル(アンリツ株式会社)

著者名(英語): Atsuro Tanuma(ANRITSU CORP.),Toshiyuki Matsuoka(ANRITSU CORP.),Masaya Sugai(ANRITSU CORP.),M.E.Pawlowski (ANRITSU CORP.)

キーワード: 非接触2次元形状計測|白色干渉計|位相クロス

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 716 Kバイト