MEMS構造を利用した光集積型センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS06033

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2006/07/27

タイトル(英語): Optical integrated sensors using MEMS structures

著者名: 佐々木 実(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Minoru Sasaki(Tohoku University),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

キーワード: 高アスペクト比構造|レンズホルダ|アブソリュートエンコーダ|ウェハ折り曲げ|三角測量型センサ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,143 Kバイト