多機能フィルターを用いた垂直流体操作の挙動予測と検証

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS06039

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2006/07/27

タイトル(英語): Calculation and Verification of The Behaviour of Vertical Fluid Flow Using The Multifunctional Fluid Filter

著者名: 藤原 邦代(兵庫県立大学),浮田 芳昭(兵庫県立大学),浅野 豪文(兵庫県立大学),松井 勝弘(兵庫県立大学),武尾 正弘(兵庫県立大学),根来 誠司(兵庫県立大学),内海 裕一(兵庫県立大学)

著者名(英語): Kuniyo,Fujiwara|Yoshiaki,Ukita|Toshifumi,Asano|Katsuhiro,Matsui|Masahiro,Takeo|Siji,Negoro|Yuuichi,Utsumi

キーワード: マイクロフルディクス|CFD|ディープX線リソグラフィー|流体フィルター|マイクロリアクター|垂直液体操作

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,146 Kバイト