アクティブフェイズドアレイアンテナの移相器応用RF-MEMSスイッチ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS07001

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2007/07/03

タイトル(英語): An RF-MEMS Switch for Phase Shifter Developed for an Active Phased Array Antenna

著者名: 山根 大輔(東京大学),高橋 一浩(東京大学),SUN Winston(東京大学),清田 晴信(京都大学),川崎 繁男(京都大学),藤田 博之(東京大学),年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Daisuke Yamane(The University of Tokyo),Kazuhiro Takahashi(The University of Tokyo),Sun Winston(The University of Tokyo),Harunobu Seita(Kyoto University),Shigeo Kawasaki(Kyoto University),Hiroyuki Fujita(The University of Tokyo),Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo)

キーワード: RF（高周波）|MEMS|フェイズドアレイアンテナ|移相器|SPDTスイッチ|SOIウェハ|バルクマイクロマシニング|共振周波数|コプレーナ型導波路|平行平板型静電アクチュエータ|表皮効果|RF|MEMS|Phased Array Antenna|Phase Shifter|SPDT Switch|SOI wafer|Bulk-Micromachining|Resonant Frequency|Coplanar Waveguide|Parallel Plates Electrostatic Actuato

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 713 Kバイト