有接点RF-MEMSスイッチ用静電駆動アクチュエータの力学応答解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS07002

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2007/07/03

タイトル(英語): Mechanical Analysis of Electrostatic Actuator for Ohmic-Contact RF-MEMS Switch

著者名: 佐藤正武 (オムロン),森口 誠(オムロン)

著者名(英語): Shobu Sato(OMRON Corporation),Makoto Moriguchi(OMRON Corporation)

キーワード: RF MEMSスイッチ|静電駆動|Pull-in電圧|RF MEMS Switch|Electrostatic drive|Pull-in voltage

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 502 Kバイト