ナノフォトニクスデバイス制御用薄型櫛歯静電アクチュエータの製作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS07003

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2007/07/03

タイトル(英語): Fabrication of thin comb-drive actuators for tunable nano-photonics devices

著者名: 高橋 一法(東北大学),金森 義明(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Kazunori Takahashi(Tohoku University),Yoshiaki Kanamori(Tohoku University),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

キーワード: MEMSアクチュエータ|櫛歯静電アクチュエータ|シリコン細線導波路|MEMS actuators|Comb-drive actuators|Silicon waveguides

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 763 Kバイト