自励・自己検出機能を有する水晶音叉型AFMプローブの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS07006

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2007/07/03

タイトル(英語): Self-vibration and -detection AFM probe by using quartz tuning fork

著者名: 肥田 博隆(名古屋大学),式田 光宏(名古屋大学),福澤 健二(名古屋大学),佐藤 健二(エプソントヨコム),小野 淳(エプソントヨコム),浅海 和雄(みずほ情報総研),入江康郎 (みずほ情報総研),佐藤 一雄(名古屋大学)

著者名(英語): Hirotaka Hida(Nagoya University),Mitsuhiro Shikida(Nagoya University),Kenji Fukuzawa(Nagoya University),Kenji Sato(Epson Toyocom Corporation),Atsushi Ono(Epson Toyocom Corporation),Kazuo Asaumi(Mizuho Information and Research Institute,Inc.),Yasuroh Iriye(Mizuho Information and Research Institute,Inc.),Kazuo Sato(Nagoya University)

キーワード: 原子間力顕微鏡(AFM)|音叉型水晶振動子|圧電性|Q値|FIB(Focused ion beam)|AFM (Atomic force microscopy)|quartz tuning fork|piezoelectricity|Q (quality) value|FIB (Focused ion beam)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 559 Kバイト