金対シリコン異種MEMS針端の接触による金原子移動の実時間観察

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS07010

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2007/07/03

タイトル(英語): Real Time Observation of Au Atom Transport in Au/Si Hetero Contact between MEMS Sharp Tips

著者名: 仲島 祐樹(東京大学),石田 忠(東京大学),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Yuuki Nakajima(The University of Tokyo),Tadashi Isida(The University of Tokyo),Hiroyuki Fujita(The University of Tokyo)

キーワード: MEMS対向探針|金拡散|透過型電子顕微鏡|選択的蒸着法|エレクトロマイグレーション|MEMS opposing tips|gold diffusion|transmission electron microscope|selective local evapolation|electromigration

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 818 Kバイト