シリコン細線光導波路を用いたフォトニックMEMS変調素子の設計と作製方法

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS07011

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2007/07/03

タイトル(英語): Design and Fabrication of photonic MEMS Modulators with wire waveguide

著者名: 肥後 昭男(東京大学),藤田 博之(東京大学),年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Akio Higo(The University of Tokyo),Hiroyuki Fujita(The University of Tokyo),Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo)

キーワード: フォトニックMEMS|静電アクチュエータ|光変調|フォトニック導波路|Photonic MEMS|Electrostatic Actuator|Optical Modulation|Photonic wire waveguide

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 576 Kバイト