大変位MEMSミラーとPSDを用いた制御機構に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS07014

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2007/07/03

タイトル(英語): Tilt Angle Control System for Large Deflection MEMS Mirror using HOLED-PSD

著者名: 橋野 義弘(兵庫県立大学),吉田 憲弘(兵庫県立大学),柾木 健太郎(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Yoshihiro Hashino(University of Hyogo),Norihiro Yoshida(University of Hyogo),Kentaro Masaki(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: MEMSミラー|PSD|大変位|角度検出システム|MEMS mirror|PSD|Large deflection|Tilt angle control system

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 490 Kバイト