表面弾性波を利用したマイクロ流体制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS07018

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2007/07/03

タイトル(英語): A Micro-fluidic system using Surface Acoustic Wave

著者名: 佐野 拓也(東北大学),佐藤 誠人(東北大学),桑野 博喜(東北大学),長澤 純人(東北大学),小貫 哲平(東北大学)

著者名(英語): Takuya Sano(Tohoku University),Masato Sato(Tohoku University),Hiroki Kuwano(Tohoku University),Sumito Nagasawa(Tohoku University),Teppei Onuki(Tohoku University)

キーワード: マイクロ流体|表面弾性波|MEMS|ポンプ|マイクロアクチュエータ|Micro Fluidics|Surface Acoustic Wave|MEMS|Pump|Micro Actuator

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 427 Kバイト