鉄系金属/ダイヤモンドの熱化学反応を利用した単結晶ダイヤモンドの加工

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS08002

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Processing of Single Crystal Diamond Using Sidero-metal/Diamond Thermochemical Reaction

著者名: 諸節祐子 (慶應義塾大学),松下 孟(慶應義塾大学),三木 則尚(慶應義塾大学)

著者名(英語): Yuko Morofushi(Keio University),Hajime Matsushita(Keio University),Norihisa Miki(Keio University)

キーワード: 工作機械|サブメゾスケールデバイス|精密機械加工|熱化学反応|フォトリソグラフィー|ダイヤモンド|ダイヤモンド工具|Machining Tools|Sub-meso-scale devices|Precision Machining|Thermochemical reaction Photolithography|Diamond|Diamond Tools

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 970 Kバイト