CMOS-First,MEMS-Last型集積化法におけるMEMSポストプロセスの検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS08004

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): A Study on MEMS Post-processing in CMOS-First, MEMS-Last Monolithic Integration

著者名: 高橋 一浩(東京大学),藤田 博之(東京大学),年吉 洋(東京大学),鈴木 和拓(東芝),舟木 英之(東芝),板谷 和彦(東芝)

著者名(英語): Kazuhiro Takahashi(IIS,The University of Tokyo),Hiroyuki Fujita(IIS,The University of Tokyo),Hiroshi Toshiyoshi(IIS,The University of Tokyo),Kazuhiro Suzuki(R&D Center,Toshiba),Hideyuki Funaki(R&D Center,Toshiba),Kazuhiko Itaya(R&D Center,Toshiba)

キーワード: CMOS-MEMS|バルクマイクロマシニング|SOI|プロセス整合性|CMOS-MEMS|Bulk-micromachining|SOI|process compatibility

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,010 Kバイト