積層組立プロセスによる外骨格型マイクロロボットの製作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS08005

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Fabrication of Exoskeletal Microrobots Using Stacked Microassembly Process

著者名: 鳴海 圭亮(東北大学),我妻大策 (東北大学),井柳 友宏(東北大学),新井 史人(東北大学)

著者名(英語): Keisuke Narumi(Tohoku University),Daisaku Azuma(Tohoku University),Tomohiro Iyanagi(Tohoku University),Fumihito Arai(Tohoku University)

キーワード: 微小電気機械システム|フォトリソグラフィ|マイクロアセンブリ|微小構造体|マイクロロボティクス|電鋳|バイオプシー|医療機器|MEMS|Photolithograph|Micro-assembly|Microstructure|Microrobotics|Electroplating|Biopsy|Medical device

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,861 Kバイト