画像ディスプレィ用ハイパワー・ハンドリングMEMSスキャナ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS08006

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): High-Power Handling MEMS Scanner for Display Applications

著者名: 大平 康隆(東京大学),CHEKHOVSKIY Aleksandr(神奈川科学技術アカデミー),山野井 俊雄(光伸光学工業),遠藤尚 (光伸光学工業),藤田 博之(東京大学),年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Yasutaka Ohira(The University of Tokyo),Aleksandr Chekhovskiy(Kanagawa Academy of Science and Technology),Toshio Yamanoi(Koshin Kougaku Co. Ltd.),Takashi Endoh(Koshin Kougaku Co. Ltd.),Hiroyuki Fujita(The University of Tokyo),Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo)

キーワード: MEMS|スキャナ|ディスプレィ|SOIウェハ|バルクマイクロマシニング|櫛歯型静電アクチュエータ|MEMS|Scanner|Display|SOI wafer|Bulk-Microcromachining|Vertical Comb Actuator

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,157 Kバイト