曲げモーメント駆動による焦点可変放物面ミラーの設計と製作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS08007

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Design and Fabrication of Varifocal Paraboloid Micromirror using Bending Moment Drive

著者名: 穂苅 遼平(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Ryohei Hokari(Tohoku University),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

キーワード: 焦点可変|放物面|曲げモーメント|マイクロミラー|MEMS|varifocal|paraboloid|bending moment|micromirror|MEMS

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,065 Kバイト