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櫛歯アクチュエータの横振動励起とその応用

櫛歯アクチュエータの横振動励起とその応用

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カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS08009

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Excitation of lateral vibration and its application using a comb-drive actuator

著者名: 大磯秀太 (静岡大学),幸田尚子 (香川大学),細木真保 (静岡大学),橋口原 (静岡大学)

著者名(英語): Hideta Oiso(Shizuoka University),Naoko Koda(Kagawa University),Yuuki Nishimori(Shizuoka University),Maho Hosogi(Shizuoka University),Gen Hashiguchi(Shizuoka University)

キーワード: 櫛歯アクチュエータ|モデリング|非対称櫛歯|振動解析|ラグランジュ方程式|comb-drive actuator|modeling|asymmetric comb-drive actuator|vibration analysis|Lagrange's equation

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 537 Kバイト

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