磁気駆動マイクロツールの製作とオンチップ微粒子操作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS08010

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Production of Magnetically Driven Microtools and On-chip Manipulation

著者名: 佐久間 臣耶(東北大学),山西陽子 (東北大学),木原 勇輝(東北大学),新井 史人(東北大学)

著者名(英語): Shinya Sakuma(Tohoku University),Yoko Yamanishi(Tohoku University),Yuki Kihara(Tohoku University),Fumihito Arai(Tohoku University)

キーワード: 磁気駆動|マイクロツール|微粒子操作|フォトリソグラフィー|バイオチップ|Magnetic drive|microtool|On-chip manipulation|Photolithography|Bio-chip

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,020 Kバイト