MEMSスイッチによる表面弾性波制御機構の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS08011

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Micro mechanics for controlling resonance of surface acoustic wave

著者名: 小貫 哲平(東北大学),宮下 雅広(東北大学),長澤 純人(東北大学),桑野 博喜(東北大学)

著者名(英語): Teppei Onuki(Tohoku University),Masahiro Miyashita(Tohoku University),Sumito Nagasawa(Tohoku University),Hiroki Kuwano(Tohoku University)

キーワード: 表面弾性波|MEMS|可調節性|周波数フィルター|移相器|遅延線|surface acoustic wave|micro electromechanical system|tunability|frequency filter|phase shifter|delay line

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 925 Kバイト