電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS08012

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Flow Analysis of High-Frequency-Operated Piezoelectric Valveless Micropump using Electrical Equivalent Circuit Model

著者名: 菅野 公二(京都大学),田中 伸治(京都大学),土屋 智由(京都大学),田畑 修(京都大学)

著者名(英語): Koji Sugano(Kyoto University),Shinji Tanaka(Kyoto University),Toshiyuki Tsuchiya(Kyoto University),Osamu Tabata(Kyoto University)

キーワード: μ-TAS|バルブレスマイクロポンプ|電気等価回路|μ-TAS|valveless micropump|electrical equivalent circuit

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 693 Kバイト