ステント実装型流量センサの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS08013

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Development of stent-type flow sensor for respiratory diagnosis

著者名: 横田 拓央(名古屋大学),式田 光宏(名古屋大学),内藤淳平 (名古屋大学),佐藤 一雄(名古屋大学)

著者名(英語): Takuo Yokota(Nagoya University),Mitsuhiro Shikida(Nagoya University),Junpei Naito(Nagoya University),Kazuo Sato(Nagoya University)

キーワード: 流量|熱式流量センサ|ステント|チタンエッチング|フォトリソグラフィ|flow rate|thermal flow sensor|stent|titanium etching|photolithography

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 826 Kバイト