両持ち梁を用いたエレクトレットマイクロ発電の研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS08018

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Research on the Electret Micro Generator using H-beam Structure

著者名: 森 一紘(東北大学),鈴木 隆史(東北大学),長澤 純人(東北大学),岡本 洋(東北大学),桑野 博喜(東北大学)

著者名(英語): Kazuhiro Mori(Tohoku University),Takafumi Suzuki(Tohoku University),Sumito Nagasawa(Tohoku University),Hiroshi Okamoto(Tohoku University),Hiroki Kuwano(Tohoku University)

キーワード: マイクロ発電|環境発電|エレクトレット|MEMS|Micro generator|Energy harvesting|Electret|MEMS

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 647 Kバイト