静電駆動型大面積MEMSにおける消費電力

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS08020

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Power Consumption of Electrostatic MEMS with Large Area

著者名: 松山知弘(東京大学),三田吉郎(東京大学),久保田雅則(東京大学),柴田直(東京大学),藤田博之(東京大学)

著者名(英語): Tomohiro Matsuyama|Yoshio Mita|Tadashi Shibata|Hiroyuki Fujita

キーワード: 大面積MEMS|静電アクチュエータ|消費電力|駆動電圧|MEMS with large area|Electrostatic actuator|Power consumption|Driving Voltage

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 886 Kバイト