金対シリコン対向探針を用いたシリコン表面への金ナノクラスターのTEM内散布方法

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS08021

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Formation of Gold Nanoclusters on Silicon Surface using Gold/Silicon Opposing Tips in TEM

著者名: 石田 忠(東京大学),仲島 祐樹(東京大学),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Tadashi Ishida(University of Tokyo),Yuuki Nakajima(University of Tokyo),Hiroyuki Fujita(University of Tokyo)

キーワード: 金ナノクラスター|透過型電子顕微鏡（TEM）|金対シリコンMEMS対向探針|gold nanocluster|transmission electron microscope(TEM)|gold/silicon opposing tips

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,759 Kバイト