MEMS-in-TEM実時間観察系によるPt,Ruナノワイヤの成長速度計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS09008

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　マイクロマシン･センサシステム研究会

発行日: 2009/07/23

タイトル(英語): Mechanical Characterization of Pt,Ru Nanowires by in-situ Observation with MEMS-in-TEM System

著者名: 庄路陽紀 (東京大学),佐藤 隆昭(東京大学),石田 忠(東京大学),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Haruki Syoji(University of Tokyo),Takaaki Sato(University of Tokyo),Tadashi Ishida(University of Tokyo),Hiroyuki Fujita(University of Tokyo)

キーワード: Ptナノ接触|Ruナノ接触|透過型電子顕微鏡（TEM）|MEMS-RF|Pt nano-contact|Ru nano-contact|transmission electron microscope(TEM)|MEMS-RF

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,265 Kバイト