シンクロトロン放射光の整形ビームによるPMMAの三次元加工法の提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS09012

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　マイクロマシン･センサシステム研究会

発行日: 2009/07/23

タイトル(英語): 3-D Microfabricaion of PMMA by Shaped Beam Using Synchrotron Radiation

著者名: 洞出 光洋(日本学術振興会,立命館大学),杉山 進(立命館大学)

著者名(英語): Mitsuhiro Horade(JSPS Fellow,Ritsumeikan University),Susumu Sugiyama(Ritsumeikan University)

キーワード: シンクロトロン放射光|LIGAプロセス|X線リソグラフィ|PMMA|三次元リソグラフィ|三次元構造体|Synchrotron Radiation|LIGA process|X-ray lithography|PMMA|3-dimensional lithography|3-dimensional structure

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,391 Kバイト