Si基板上高品質ＡｌＮテンプレートの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS10003

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2010/06/17

タイトル(英語): Development of the high quality AlN template on Si substrate

著者名: 美濃 卓哉(BEANSプロジェクト),高野 隆好(BEANSプロジェクト),椿 健治(BEANSプロジェクト),平山 秀樹(BEANSプロジェクト),杉山 正和(BEANSプロジェクト)

著者名(英語): Mino Takuya(BEANS Project),Takano Takayoshi(BEANS Project),Tsubaki Kenji(BEANS Project),Hirayama Hideki(BEANS Project),Sugiyama Masakazu(BEANS Project)

キーワード: 深紫外発光ＬＥＤ|クラックフリー|ＡｌＮ|高Ａｌ組成ＡｌＧａＮ|Ｓｉ基板|UV-LEDs|crack-free|AlN|high Al composition AlGaN|Si substrates

要約(日本語): 本研究では，殺菌・分析用途における深紫外発光LEDをMEMSデバイスに応用するため，Si基板上にダメージレス・クラックフリーのAlNおよび高Al組成AlGaNテンプレートを形成する技術開発に取り組んでいる．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,500 Kバイト