SPMリソグラフィ用耐摩耗マイクロプローブ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS10008

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2010/06/17

タイトル(英語): Wear-out-proof microprobe for SPM lithography

著者名: 李 永芳(BEANS研究所),冨澤 泰(BEANS研究所),古賀 章浩(東芝),安藤 泰久(産業技術総合研究所),橋口 原(静岡大学),杉山 正和(東京大学),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Li Yongfang(Technical Research Association BEANS Laboratory),Tomizawa Yasushi(Technical Research Association BEANS Laboratory),Koga Akihiro(Toshiba Corporation),Ando Yasuhisa(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Hashiguchi Gen(Shizuoka University),Sugiyama Masakazu(The University of Tokyo),Fujita Hiroyuk(The University of Tokyo)

キーワード: ＳＰＭリソグラフィ|耐摩耗|マイクロプローブ|鉛筆型|歯ブラシ型|SPM lithography |wear-out-proof |microprobe |pencil type|toothbrush type

要約(日本語): 現代半導体製造の根幹技術の一つはリソグラフィと言われ、その中のSPMリソグラフィが究極の微細加工方法として注目されてきた。しかし、プローブの摩耗による描画線幅の変化の抑制及びプローブの耐久性の克服などの課題が残っているため、ＳＰＭリソグラフィが工業的応用に至れなかった。これらの問題点を解決するため、本稿では耐摩耗マイクロプローブを提案し、その試作及び評価結果について述べる。

要約(英語): One of the elementary technologies of the semiconductor manufacturing is said to be SPM lithography technology that is paid much attention as an ultimate micro-fabrication method. However, SPM lithography is limited in mass production due to probe tip wear. Here, a wear-out-proof microprobe is proposed to overcome this problem.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,228 Kバイト