高アスペクトトレンチへの選択的自己組織化微粒子配列

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS10009

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2010/06/17

タイトル(英語): Position-selective self-assembly of nano particles for high aspect trenches

著者名: 阿波嵜 実(BEANS プロジェクト),相馬 伸一(富士電機システムズ),諸貫 信行(BEANS プロジェクト,首都大学東京),杉山 正和(BEANS プロジェクト,東京大学)

著者名(英語): Abasaki Minoru|Souma Shinichi|Moronuki Nobuyuki|Sugiyama masakazu

要約(日本語): 粒状の物質に最密充填構造を取らせると高表面積，高密度等の優位性を示すことから，微粒子の自己整列構造を利用したデバイス及びプロセスが盛んに研究されている．また、凹凸形状のある基板を利用する事でさらなる表面積向上、微細流路デバイスへの展開が期待される。この為、本研究では微粒子を液体に分散させた懸濁液を利用し、トレンチを形成したSi基板に微粒子配列を試みたので報告する。

原稿種別: 日本語

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