界面準位の影響を考慮した櫛歯アクチュエータの特性解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS10010

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2010/06/18

タイトル(英語): Analysis of a Comb-Drive Actuator taking the Surface-State into Consideration

著者名: 植木 真治(BEANSプロジェクト),西森 勇貴(BEANSプロジェクト),今本 浩史(オムロン),久保田 智広(BEANSプロジェクト),杉山 正和(BEANSプロジェクト),寒川 誠二(BEANSプロジェクト),橋口 原(BEANSプロジェクト)

著者名(英語): Shinji Ueki(BEANS Project),Yuki Nishimori(BEANS Project),Hiroshi Imamoto(OMRON Corporation),Tomohiro Kubota(BEANS Project),Masakazu Sugiyama(BEANS Project),Seiji Samukawa(BEANS Project),Gen Hashiguchi(BEANS Project)

キーワード: 静電アクチュエータ|櫛歯アクチュエータ|界面準位

要約(日本語): 一般的に、たとえSiのような半導体で形成されたデバイスでも、櫛歯間キャパシタンスを導体近似することにより計算を行っている。一方、我々は、これまでに電界が半導体中へ浸み込み、空乏層が形成される場合の櫛歯アクチュエータの特性を理論的に解析し、その影響を示した。今回の研究では、さらに界面順位の影響も考慮した場合の櫛歯アクチュエータの特性を理論的に検討したのでその結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 784 Kバイト