ナノプローブ先端の力学的挙動と接触抵抗値の関係

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS10013

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2010/06/18

タイトル(英語): Relation between contact resistance and kinetic behavior of a nano-scale probe tip

著者名: 冨澤 泰(BEANSプロジェクト),李 永芳(BEANSプロジェクト),古賀 章浩(東芝),橋口 原(静岡大学),安藤 泰久(産業技術総合研究所),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Tomizawa Yasushi(BEANS Project),Li Yongfang(BEANS Project),Koga Akihiro(Toshiba Corporation),Hashiguchi Gen(Shizuoka University),Ando Yasuhisa(National Institute of Advanced Industrial Science And Technology),Fujita Hiroyuki(The University of Tokyo)

キーワード: ナノトライボロジー|プローブリソグラフィ|プローブ情報記録|電気接点|ＢＥＡＮＳ（異分野融合型次世代デバイス）|Nano Tribology|Probe Lithography|Probe Data Storage|Electric Contact|BEANS (Bio Electromechanical Autonomous Nano Systems)

要約(日本語): マルチプローブアレイを用いたナノプロセスを実用化する上では、個々のプローブの先端と媒体の間においてばらつきの少ない安定した電気的接触が求められる。発表者らは、コンタクトAFMを用いてナノサイズ先端プローブと貴金属媒体との間の接触抵抗値を計測することで、媒体の表面状態、プローブの接触力や摺動条件などが、接触抵抗挙動及びそのばらつきに与える影響を調査し、古典的な理論との乖離を定量的に示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,108 Kバイト