静電くし駆動２次元ディスプレイミラーの真空中駆動

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS10014

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2010/06/18

タイトル(英語): Electrostatic-comb-drive 2D display-micromirror operated in vacuum

著者名: チュ ホアンマン(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Chu Hoang Manh (Tohoku University),Hane Kazuhiro(Tohoku University)

キーワード: 走査型ミラー|静電くしアクチュエータ|真空

要約(日本語): 本研究では，レーザ走査型ディスプレイに用いられる静電駆動くし型スキャンニングマイクロミラーの真空中の動作特性について報告する．高速共振走査の内側ミラーと低速共振走査の外部フレームの動作に対する空気摩擦の実験的及び理論的研究を行い，駆動電圧低下のについて考察した．

原稿種別: 日本語

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