集光用可変ミラーの変形に及ぼす支持フレームの影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS10016

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2010/06/18

タイトル(英語): Influence of the supporting frame on varifocal mirror deformation

著者名: 佐々木 敬(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Sasaki Takashi(Tohoku University),Hane Kazuhiro(Tohoku University)

キーワード: ＳＯＩウエハ|可変ミラー|ミラー支持フレーム|表面形状

要約(日本語): 光の波面を制御するMEMS補償光学ミラーは光を取り扱うデバイスであり、ミラー形状を光の波長と同程度の精度で制御しなければならない。我々は焦点可変ミラーを備えたスキャナを製作し、薄膜ミラーを支持するフレームの構造によりミラー形状が大きく変化することを確認した。本研究ではより高精度な可変ミラーを製作するため、支持フレームの構造とミラー変形形状の関係について解析する。

原稿種別: 日本語

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