ウェアラブル実装に対応した円筒状繊維熱式加速度センサの提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS10022

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2010/06/18

タイトル(英語): Thermal type acceleration sensor packaged into hollow fiber

著者名: 北村 真吾(名古屋大学),石川 昌治(名古屋大学),式田 光宏(名古屋大学),佐藤 一雄(名古屋大学)

著者名(英語): Kitamura shingo(Nagoya university),Ishikawa masaharu(Nagoya university),Shikida mitsuhiro(Nagoya university),Sato kazuo(Nagoya university)

キーワード: 加速度センサ|熱検知|中空繊維|ウェアラブル|フレキシブル|Acceleration sensor|Thermal sensing|Hollow fiber|Wearable|Flexible

要約(日本語): ウエアラブル化が可能な加速度センサを実現することを目的として，中空繊維状構造体をプラットフォームにした熱式加速度センシング構造を提案した．具体的には，本センサは，円筒内に形成したリング状ヒータとその両側に設けた二つの温度センサとからなる．センサに加速度が加わるとヒータで温められた空気の温度分布が変化する．この変化量を温度センサで検出し，加わった加速度を算出する仕組みになっている．フォトリソグラフィ技術と熱収縮実装手法を用いて外径1.8mmの円筒状熱式加速度センサを作製した．また加振機を用いてその特性評価を行った．

要約(英語): For producing a wearable acceleration sensor, we packaged a thermal film sensor into a hollow fiber. The sensor consists of a heater and two temperature sensors inside the hollow fiber, and the applied acceleration is detected by the change of the thermal distribution on the sensors. The sensor was fabricated by the photolithography and the heat shrinkable tube.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,477 Kバイト