生体適合性材料を用いた肺機能測定用流量センサの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS10025

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2010/06/18

タイトル(英語): Catheter type flow sensor fabricated by bio-compatible material for measurement of lung function

著者名: 鹿野 嵩瑛(名古屋大学),横田 拓央(名古屋大学),岩井 聡(名古屋大学),松永 直之(名古屋大学),式田 光宏(名古屋大学),佐藤 一雄(名古屋大学)

著者名(英語): Shikano Takaaki(Nagoya University),Yokota Takuo(Nagoya University),Iwai Satoshi(Nagoya University),Matsunaga Naoyuki(Nagoya University),Shikida Mitsuhiro(Nagoya University),Sato Kazuo(Nagoya University)

キーワード: 流量センサ|生体適合性|パリレン|ＣＯＰＤ|フォトリソグラフィ|医療用センサ|Flow sensor|Bio-compatible materials|Parylene|COPD|Photolithography|Medical sensor

要約(日本語): 気管支での肺機能計測を目的として，カテーテル実装型流量センサを生体適合性材料であるパリレンフィルムを用いて作製した．具体的には，厚さ15μmのパリレンフィルム上に熱式流量センサを形成し，これをテフロン製熱収縮チューブを用いて実装した．作製した流量センサの特性評価を行い，流量と出力の関係がキングの式に一致することを確認した．

要約(英語): We applied a bio-compatible parylene C film as a substrate material for producing a catheter type of thermal flow sensor. At first, a thermal sensor was fabricated on the parylene C film, and then it was mounted into the inside surface of the tube structure by using the shrinkage of it. The basic characteristic of the flow sensor was evaluated and obtained that the sensor output was obeyed by the King equation.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,424 Kバイト